办理一份检测报告需要通过寄样至实验室或安排检测人员到现场按照相关标准执行后得到结果数据，报告真实有效。《GB/T 38976-2020 硅材料中氧含量的测试惰性气体熔融红外法》中规定了相关产品的检测项目、方法及相关数值标准，如果您有产品需要依据《GB/T 38976-2020 硅材料中氧含量的测试惰性气体熔融红外法》标准进行检测，百检网可以为您安排工程师对接一对一进行沟通确认具体检测方案。
GB/T 38976-2020.Test method for the oxygen concentration in silicon materials-Inert gas fusion infrared detection method.
1范围.
GB/T 38976规定了采用惰性气体熔融及红外技术测试硅材料中氧含量的方法。
GB/T 38976适用于不同导电类型.不同电阻率范围的硅单晶、多晶硅中氧含量的测试。
注:硅材料中的氧含量以每立方厘米中的原子数计。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 1557硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法
GB/T 14264半 导体材料术语
3术语和定义
GB/T 14264界定的术语和定义适用于本文件。
4方法原理
将预先称重的样品放置于高纯双层石墨坩埚中,样品在惰性气体的保护下,高温加热熔融,释放出氧、氮和氢。样品中氧均与石墨坩埚中的碳结合生成一氧化碳,氮和氢则分别以氨气、氢气的形式释放。根据测试仪器的不同,一氧化碳的含量可以由非色散红外探测器直接测得,也可在惰性气体的输送下，将一氧化碳经过加热的稀土氧化铜催化剂氧化生成二氧化碳，由红外测试设备测得二氧化碳的含量。测试仪器根据一氧化碳或二氧化碳的含量,进行空白扣除之后,结合样品重量,最终得到被测样品中的氧含量。
5干扰因素
5.1惰性气体(氦气或氩气)作为测试仪器中的载气,其中含有的杂质可能会吸附硅材料样品释放的氧,从而影响测试结果，因此建议使用纯度(体积分数)不小于99.99%的高纯气体以提高测试准确性。同时可使用氢氧化钠(优级纯)用于吸收惰性气体中残留的二氧化碳,无水高氯酸镁(MgClO4)用于吸收惰性气体中的水分,铜屑用于吸收惰性气体中的氧,减少惰性气体对测试结果的影响。
5.2使用单层石墨坩埚会造成温度的波动，继而影响测试结果，因此应使用双层石墨坩埚。
5.3石墨坩埚中的氧也会随着测试的过程不断释放,因此应使用高纯石墨制作的坩埚，并在测试之前确认石墨坩埚的纯度,以减少对测试结果的影响。
《GB/T 38976-2020 硅材料中氧含量的测试惰性气体熔融红外法》标准内容仅部分展示，如果您有相关需求请致电百检网咨询。
